昨日上午，合肥至微项目正式量产，这是国内首个立项又是最先量产的12英寸晶圆“再生工厂”，填补了我市集成电路产业链又一空白。

　　晶圆再生，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

　　合肥至微项目总投资近10亿元，2020年3月正式开工，2020年12月项目设备基本搬入调试，2021年3月进入试生产阶段。

　　据了解，合肥量产的这一晶圆再生项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生生产线。该项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗能力，满产后年产值可超过6亿元。

　　合肥至微半导体有限公司是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。至纯集团董事长蒋渊表示，当初被合肥的产业布局吸引，被政府的务实作风打动，决定将至纯科技的晶圆再生业务落地在此，公司立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商，代表本土品牌参与国际竞争。

　　据了解，此前，国内高阶的晶圆再生需求都要送到日本、中国台湾等地处理。随着至微项目的量产，合肥将成为满足晶圆再生需求的重要基地。